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特點

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  設(shè)備參數(shù)
  - Y軸：花崗巖導(dǎo)軌+空氣軸承
     - 花崗巖平面度：<±3um
     - 空氣軸承類型：單孔類型
  - 真空吸盤
     - 卡盤平整度：整個區(qū)域±5um
     - 卡盤真空吸力：600mmHg
  - LVDT傳感器
     - 測量范圍：±1mm
     - 精度：1um
     - 重復(fù)性0.15um 
  				

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  硬件
  - 兩個樣品的薄膜涂層（200mm X 100mm，50mm X 50mm）
  - 可以使用精密轉(zhuǎn)臺，實時監(jiān)控和主動操作來進(jìn)行薄膜涂覆
  - 基于空氣軸承的精密平臺
  - Z軸雙驅(qū)動裝置即使連續(xù)輸入產(chǎn)品也可實現(xiàn)穩(wěn)定的左右傾斜應(yīng)用
  - 精確控制涂料注射器和噴嘴流量均勻